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半导体制造系统操作工配置方法研究

第一章绪论1第一章绪论§1.1问题的提出按照生产系统的复杂程度，可以把制造系统分为两大类，一类是简单制造系统，即由单个过程或多个独立的过程构成；另一类是复杂制造系统，即制造过程是由相关的多个过程所构成。在复杂制造系统中，尤以在制品(Work-In-Process,WIP)多次重入生产线（Reentry、Re-entrant）的制造系统最为复杂，半导体晶圆制造系统就是多重入复杂制造系统中的典型代表。它是不同于传统的Job-shop和Flow-shop生产类型的“第三类生产方式”，其生产过程存在典型的“多重入”特征[1-2]。近年来，复杂制造系统成为国内外制造工程界和学术界研究的热点，特别是半导体...

2024-11-19 1.33MB 62 页 6 4 15积分
胞蚂蚁优化算法及其若干工程应用

I目录第一章绪论.............................................................................................................1§1.1组合优化问题...........................................................................................2§1.1.1组合优化.........................................................................

2024-11-19 4.1MB 171 页 7 4 15积分
变风量智能空调系统的控制算法研究

第一章绪论1第一章绪论§1.1课题背景上世纪初，人类第一次使用空调来人工创造受控的空气环境（1919－1920年，芝加哥一电影院），使得人类工作、生活环境质量得到的极大的提高。到目前为止，空调已广泛应用于公用、民用建筑，交通，农业，军事等各个领域，已成为现代化的生活中不可缺少的一部分。但随着空调的广泛应用，也带来了许多问题。由于空调能耗很大，特别在一些行业中（如电子工业），空调的能耗将近占到总能耗的40％[1]，所以如何降低空调的能耗成为空调研究的首要目标。普通集中式空调系统是定风量系统，其工作的原理是通过改变送风温度来维持房间的温度。它的送风量是一个恒值，所以比较容易控制，而且诸如气流组织形...

2024-11-19 2.33MB 62 页 7 4 15积分
变桨矩变速恒频双馈风力发电系统控制策略的研究与实现

目录摘要ABSTRACT第一章绪论...........................................................................................................1§1.1课题背景....................................................................................................1§1.2风能发展的国内外现状.......................................................

2024-11-19 5.2MB 65 页 6 4 15积分
变冷冻水温DDC控制及节能研究

第一章绪论1第一章绪论§1.1课题的来源及意义随着能源危机的不断到来以及人们可持续发展观念的不断加强，能源的高效合理利用问题已经引起了广泛关注。由于建筑使用能耗在总能耗中占有相当大的比重（在发达国家一般占到全国总能耗的三分之一左右，在我国占全国总能耗的比例则一直维持在20％以下[1]，由此可见随着生活水平的提高，我国的建筑使用能耗具有很大的上升空间），因此建筑节能对能源的高效合理利用具有十分重要的意义。在我国，建筑节能已经得到了党中央、国务院的高度重视。胡锦涛总书记在建立节约型社会、节约型城市的讲话中指出：“要突出抓好节约能源、节约原材料和节约用水工作，大力发展循环经济”，要发展“节能节地型建...

2024-11-19 8.73MB 90 页 7 4 15积分
变速器轴设计校核方法研究

摘要变速器轴是变速器的主要部件，肩负着传递发动机动力的重任，直接影响着变速器的工作可靠性和寿命。由于变速器轴在工作时承受发动机传递的扭矩和齿轮啮合的圆周切向力、径向力和斜齿轮的轴力，则在变速器设计时对轴的刚度要求较高，如果刚度不足，会引起轴的弯曲变形，破坏齿轮的正常啮合而产生过大的噪声，降低齿轮的强度、耐磨性及寿命。本文在对变速器轴的校核方法进行了总结、研究的基础上，制定了变速器轴校核计算的具体流程。进行了变速器输入、输出轴受力的分析研究，尤其是对三支撑超静定的输入轴支撑反力的计算方法的研究。通过将当量轴径法和能量法两种校核方法在变速器轴校核的应用研究，得出了两种方法的计算精度和适用范围。针对...

2024-11-19 2.17MB 75 页 6 4 15积分
便携式X光机高频逆变电源及其控制系统的研究2011-1-15（打印版）

摘要X射线在医学和工业生产上都有广泛的应用，X射线的产生需要有一个高压电源，此高压电源也就成为X射线设备的核心部件。传统的X射线机电源由于直接采用50/60Hz工频电源经过变压器升压后获得，故具有体积大、效率低，高压输出稳定性和重复性差，成像质量低的缺点；本课题通过对软开关逆变电源技术的研究，结合单片机控制技术设计了一个输出功率为6kW(100kV，60mA，0.1s)的小功率医用高频逆变X射线用高压电源，并集X射线发生器和操作控制器为一体，具有便携性能，可应用于大型X光机不能充分发挥效能的地方，如社区医疗，农村医疗，VIP上门诊断，医生专用车，体检车，国家灾害救助，政府开发援助(ODA)，国...

2024-11-19 7.96MB 73 页 6 4 15积分
表面肌电信号对医疗器械人因设计评价的研究

I摘要医生在操作医疗器械时，往往由于一些医疗器械不符合医疗仪器的人因工程学设计的要求而使一些医生患上与职业相关的骨骼肌肉疾病(Work-relatedMusculoskeletalDisorders,WMSD)。如何防止各种类型的与职业相关的骨骼肌肉疾病是工效学/人因工程学的重要研究内容。表面肌电（surfaceelectromyography,sEMG）技术作为一种生理指标测量技术,可用来对神经肌肉功能状态和活动水平做出评价，从而可用来对医疗器械人因工程学设计进行评价。本文设计并开发了一种表面肌电信号采集分析系统。根据肌电信号的特点和研究要求，本系统采用研华公司生产的PCI-1710HG数据...

2024-11-19 1.45MB 65 页 6 4 15积分
冰球式蓄冷空调系统设计与实验研究

摘要冰蓄冷空调系统以其“削峰填谷”的优势，获得了电力生产部门和空调用户的青睐，已经在国内外日益得到高度重视和广泛应用。目前对系统的研究大都集中在蓄冰槽动态特性研究，冰蓄冷空调系统优化配置，系统的经济性分析等方面。由于冰球式蓄冷空调系统具有蓄冷密度大、空间利用效率高、设备简单、系统阻力小、使用寿命长等优点，因而在蓄冷系统中应用的比较多。本文以冰球式蓄冷空调系统的蓄冷槽为核心部件，从理论和实验中研究蓄冷过程和释冷过程的影响因素。主要研究工作有以下几个方面：（1）设计并搭建冰蓄冷空调系统实验台。为了研究冰球式蓄冷系统的特性，作者作为设计者之一，查阅了很多关于冰蓄冷系统设计的文献及原著，在总结大量前人...

2024-11-19 2.63MB 72 页 6 4 15积分
波前编码成像系统几何光学景深延拓的研究

I摘要在大孔径摄影术、三维显微成像、光存储等许多的实际应用中，在保持成像系统的成像质量的同时扩大成像系统的景深范围具有十分重要的意义。通常扩大景深的办法是通过减小成像系统的相对孔径或者利用光学切趾成像技术。但是这些方法都是以牺牲系统的成像质量如图像的分辨率以及光通量为代价的。波前编码成像技术是近年来出现的一种集光学成像与数字信号处理相结合的综合成像技术。它是光学技术与电子学技术紧密结合的典范，是对当前的成像技术的一次革新。用于扩展景深的波前编码成像系统很好的解决了景深与成像质量互为矛盾的两难处境。它通过在传统成像系统的光瞳面上插入一块三次相位板，对入射的非相干光波进行调制编码，形成了一种对离焦...

2024-11-19 2.14MB 65 页 6 4 15积分
波前编码成像系统特性分析及图像复原

摘要在经典光学中，大的景深和高分辨率是一对无法解决的矛盾，一个经典光学系统无法同时具有大景深和高分辨率，然而目前很多应用领域都在追求具有大景深高分辨率的光学成像系统，比如在大相对孔径的光学遥感器、三维显微成像以及电视摄像等实际应用中，因此既能满足成像质量的要求又具有大景深范围的光学系统是应用光学研究领域的热点问题。为了增大光学系统的景深，通常采用缩小系统相对孔径的方法，但这会影响系统的MTF和分辨率，降低了成像质量。波前编码技术是通过在光学系统的光瞳面上插入一块特殊设计相位板对光学系统的光波场进行调制，使得MTF对离焦不敏感，从而在传感器上得到差异很小的模糊的中间图像，利用数字图像处理技术对中...

2024-11-19 1.49MB 55 页 6 4 15积分
波前编码成像系统中图像复原的研究应用1231

摘要波前编码是一种用于实现光学成像系统景深延拓的技术，它巧妙地结合了光学和数字信号处理技术，目的是为了扩大光学系统的景深。该技术不但可以使得光学系统的景深增加一个数量级，而且可以大大减少光学元件的数量，使光学成像系统尺寸变小、重量变轻、成本降低。但是在扩大成像系统的景深过程中，波前编码技术却为成像系统带来图像退化的问题。为了恢复彩色图像和改善景深延拓的效果，在波前编码成像系统中加入图像复原系统是十分有意义的。图像的退化使得原本清晰的图像变得模糊。所以，为了克服图像退化，本文设计了相应的图像复原系统。另外由于互补型金属氧化物半导体（CMOS）采集图像经过Bayer型彩色滤波阵列，导致了彩色信号的...

2024-11-19 11.4MB 67 页 6 4 15积分
波前相位调控的激光束聚焦特性研究

I摘要波前相位调节技术在理论上和实际应用中都引起了极大的关注。波前相位调节技术为光束优化和超越经典的衍射极限提供了一种方法，在激光测量分析、光存储、显微光学、光学微操纵等领域中有着广泛的应用。例如，在激光测量分析系统和显微系统中，利用相位调节可以调节焦深和焦斑大小，便于系统设计和实现；在光存储系统中，大焦深可以降低伺服系统跟踪和探测器机械定位难度，小焦斑可提高光存储密度；另外，自Ashkin开发光镊技术以来，光镊技术得到了迅速的发展，促进了很多领域快速发展，特别是在生命科学领域，吸引了大量的研究人员，如何增加光镊装置的有效性、灵活性和可控性一直是研究热点，波前相位调节技术由于其低成本、高灵活性...

2024-11-19 10.09MB 136 页 7 4 15积分
步进电机细分驱动技术的研究

摘要步进电机是一种将电脉冲信号转换成相应的角位移或线位移的机电元件，具有易于开环控制、无积累误差等优点，在众多领域获得了广泛的应用。而步进电机的运行性能与其使用的驱动器有着密切的关系，故对步进电机驱动器的研究越来越受到人们的重视。为了适应一些领域中高精度定位和运行平稳性的要求，出现了步进电机细分驱动技术。就步进电机的驱动技术而言，细分驱动具有良好的控制效果，能够有效地解决电机低频振荡问题，提高了电机在中、低速运行时的性能,同时使得电机的步距精度更高。而将步进电机细分驱动控制电路集成在一块芯片中，可以使得步进电机在实现细分驱动，得到优良运行性能的同时，让整个驱动电路系统的组成更为简单，可靠性更高...

2024-11-19 1.98MB 60 页 6 4 15积分
材料试验监控系统中的决策支持应用与研究

摘要材料试验监控系统在国内一般以试验设备、过程监控、数据采集为主要内容，试验管理上比较简单，以专家人工分析为主，结合计算机技术的智能化材料科学研究相对落后。在材料科学领域，决策支持理论在国外公司已有初步研究实施，在材料试验流程、处理工艺等方面的改进、优化，效果显著。本课题是在分析材料试验行业现状和实际项目需求的基础上，结合面向对象方法，智能数据分析、数据挖掘技术，提出了材料试验监控系统总体设计方案，设计研究决策支持在该系统中的应用。论文主要从系统设计和理论研究两个方面进行研究阐述。在系统设计上，总体设计方案考虑到网络化分布式下的材料试验，针对不同类型的材料试验要求和测量参数指标，数据库设计能够...

2024-11-19 2.63MB 69 页 6 4 15积分
柴油发电机组自动应急监控系统的研究与应用

柴油发电机组自动应急监控系统的研究与应用摘要在银行、证券、保险等金融公司中，为了保证市电失电情况下数据的安全性，必须配备柴油发电机组作为应急电源，柴油发电机组的自动控制系统也必须具有高安全性和高可靠性。本文之所以讨论柴油发电机组自动应急监控系统，是为了通过对柴油发电机自身运行以及对其进行自动化控制的原理，寻求一个适合各项目实际情况的柴油电站自动应急监控系统方案，并实际应用，提高自动化系统硬件和软件的技术层次，提高柴油发电机组自动化运行的可靠性和经济性，有效降低现场操作人员的工作强度。本文通过论述自动应急监控系统的发展现状和发展趋势，探索论证了适用于本项目实际情况的控制方案。从先进性、可靠性、经...

2024-11-19 2.08MB 44 页 7 4 15积分
柴油机平衡机构优化设计及性能分析

摘要直列式四缸柴油机由于外形尺寸小，具有明显的匹配优势，应用越来越广泛。但是由于其本身结构的特点，该型柴油机中的二级往复惯性力在四个缸中相互叠加，引起直列式四缸柴油机的低频振动，对该型柴油机的应用造成不利影响。在该型柴油机上加装二级平衡机构以减小由二级往复惯性力引起的振动，成为直列式四缸柴油机的一个发展趋势。本文针对D4114型直列式四缸柴油机，设计一双轴平衡机构完全平衡二级往复惯性力，并进行柴油机的动平衡分析及润滑性能分析，研究工作主要包括以下内容：(1)基于对发动机运动学和动力学的分析，深入了解柴油机的内部振动激励力特性，得出柴油机不平衡的往复惯性力、力矩和倾覆力矩等激励载荷。通过设计一双...

2024-11-19 3.45MB 73 页 7 4 15积分
掺杂非磁性微球的复合磁流体的磁光效应的研究

掺杂非磁性微球的复合磁流体的磁光效应的研究摘要磁流体是一种由纳米级的强磁性颗粒通过界面活性剂高度均匀分散于某种载液中所形成的稳定胶体溶液。它既具有固体磁性物质的磁性，又具有液体物质的流动性，同时它还具有光学性质可调谐的特点，是一种新型的光学功能材料。本论文主要研究掺杂非磁性微球的复合磁流体的磁光效应。通过向成品纯磁流体内掺杂非磁性二氧化硅微球和聚苯乙烯微球，制得复合磁流体，并以此作为研究样品液。具体研究了复合磁流体在外磁场作用下的双折射与非磁性微球的种类、掺杂浓度以及纯磁流体自身浓度的关系。研究表明，不同浓度的纯磁流体掺杂等量的聚苯乙烯微球对其双折射随磁场的变化趋势影响不同；同一浓度的纯磁流体...

2024-11-19 4.21MB 51 页 7 4 15积分
超精密微位移进给系统方案设计

摘要随着科学的进步，机电设备的机械加工精度已要求纳米级精度。由于传动系统和控制系统的精度和分辨率原因，通常的机床结构及其控制系统往往难以达到本文结合机床行业需求，设计了以压电元件为驱动器、以柔性铰链为导向支承机构、以虚拟仪器为核心的闭环控制系统构建而成的高刚度、高精度微进给系统。该系统与机床原有横向进给系统相结合，实现粗精两级进给，将大大提高机床进给系统的精度。本文采用最新最先进的技术来构建高质量的微位移进给系统，它主要包括三部分：驱动器、导向机构和控制系统。驱动器采用性能最好、控制最容易实现、目前研究最成熟的压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器已经在现实中被证明了的最好的微驱动器；导向机构，采用最...

2024-11-19 4.7MB 65 页 6 4 15积分
超声波收发电路数字滤波器仿真设计与DSP实现

摘要滤波器可以有效地抑制带外噪声，均衡所使用频带的幅度，相位特性等。因此它在通信，控制及信号处理等领域都发挥着重要作用，被广泛应用于通信，数据采集，自动控制等各类电子系统中。随着电子技术，特别是微电子技术的发展传统的手工计算被计算机所取代，以往的模拟信号处理方式也被数字信号处理所代替。这些变革给滤波器的设计理论和设计方法带来了深刻的变化。数字滤波器设计一直是数字信号处理领域的重要研究课题。它与模拟滤波器比较，具有灵活、高精度、可靠性好、体积小和重量轻，不要求阻抗匹配及可实现特殊功能滤波等优点。其中IIR(无限冲激响应)数字滤波器因具有结构简单、占用存储空间少、运算速度快、较高的计算精度和能够用...

2024-11-19 1.46MB 58 页 6 4 15积分

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