超精密微位移进给系统方案设计

摘要随着科学的进步,机电设备的机械加工精度已要求纳米级精度。由于传动系统和控制系统的精度和分辨率原因,通常的机床结构及其控制系统往往难以达到本文结合机床行业需求,设计了以压电元件为驱动器、以柔性铰链为导向支承机构、以虚拟仪器为核心的闭环控制系统构建而成的高刚度、高精度微进给系统。该系统与机床原有横向进给系统相结合,实现粗精两级进给,将大大提高机床进给系统的精度。本文采用最新最先进的技术来构建高质量的微位移进给系统,它主要包括三部分:驱动器、导向机构和控制系统。驱动器采用性能最好、控制最容易实现、目前研究最成熟的压电陶瓷驱动器,压电陶瓷驱动器已经在现实中被证明了的最好的微驱动器;导向机构,采用最...
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