利用光学系统轴向色位移检测表面粗糙度的方法研究和系统设计

摘要在精密仪器和制造行业,随着产品部件的不断小型化以及对材料质量严格要求的日益增长,表面粗糙度已成为反映工件质量的重要参数。传统的触针式轮廓仪虽然可靠稳定,但是触针往往会损害被检测物体表面,并且触针的大小和曲率对测量数据的精度有较大的影响。利用光学方法对表面粗糙度进行检测以其非接触、高精度、无损伤、测量速度快等特点得到了广泛应用。本文设计了利用几何光学检测表面粗糙度的非接触式系统,克服了传统接触式测量易划伤零件表面的缺点,并且具有简单的测量结构。本文介绍了一种利用多色光的轴向色位移进行表面粗糙度测量的方法。该方法基于共聚焦显微系统的基本思想,本文首先对共聚焦原理进行了介绍,并且根据本文介绍的测...
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