基于事例推理的半导体制造加工设备故障诊断

第一章绪论1第一章绪论§1.1我国集成电路发展现状集成电路(IntegratedCircuit,通常简称IC),是指半导体集成电路,即以半导体材料为基片,将至少有一个是有源元件的两个以上元件和部分或者全部互连线路集成在基片之中或者基片之上,以执行某种电子功能的中间产品或者最终产品。目前,国内集成电路产业规模不断扩大,产业链也逐步完善。据半导体行业协会(ChinaSemiconductorIndustryAssociation,简称CSIA)的统计,目前国内IC企业达651家(不包括集成电路设备材料企业),从业人员11.5万人。现已形成由200多家有一定规模的IC设计企业、10多家芯片制造骨干企...
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