基于数字微镜器件的三维共焦检测技术

摘要共焦显微镜得到的图像对比度强,具有很好的横向分辨率和极高的纵向分辨率,很适合微-纳米器件的三维检测。然而,传统共焦显微镜的缺陷也同样明显。如单点式的共焦扫描系统采取逐点扫描,扫描效率低下,样品的运动机械控制复杂。采用微透镜阵列可以在完全没有机械运动机构的情况下实现并行检测,但其制造工艺复杂,商品化程度不高,大大制约了实用性。为此,我们对基于数字微镜器件(DigitalMicromirrorDevice,以下简称DMD)的并行共焦检测技术进行了研究,利用DMD和CMOS替代传统系统中的照明针孔和探测针孔,通过计算机控制DMD的像素块,形成不同大小和周期的“虚拟针孔”,同时使用经过了优化的并行...
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