空心圆盘谐振式质量传感器

摘要微质量传感器具有结构简单、通用性好、成本低廉等优点,在环境科学、生物化学、表面科学等研究领域有着很广泛的应用。利用微谐振器件制作微型质量传感器是传感器技术重要研究方法之一,然而,器件的环境变化影响与检测流体的粘滞阻尼是限制此类质量传感器性能的两个最重要因素。为了克服这两个问题,本文提出了一种利用模态的简并和解并原理实现质量检测的空心圆盘结构。在流体检测前,谐振器工作于简并模态,即这两个模态振型的基本分布相同但是空间偏转一定角度,而且这两模态的谐振频率相同。流体流过圆盘的空心通道时,分子吸附于圆盘下面板上的选择吸附层上,破坏了圆盘的完全对称性,从而导致两个初始的简并工作模态发生解并,即两模态...
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