高掺锡二氧化硅薄膜的制作及其光学参数的研究

摘要玻璃材料的光敏性是指某些玻璃材料在紫外光照射下其折射率会发生永久性改变。研究表明,在二氧化硅玻璃材料里面掺入某些杂质如掺锗、铅等可以产生光敏性。最近研究发现在二氧化硅玻璃材料中掺入二氧化锡可以显著提高其光敏性,但传统化学气相沉积法制作掺锡二氧化硅玻璃时掺锡浓度不能太大,否则二氧化锡会析出。因此本论文主要采用溶胶凝胶法制备高掺锡二氧化硅玻璃薄膜,采用透射光谱法测量薄膜的光学参数,并对其光敏性进行初步研究。首先,简单介绍了溶胶凝胶法制备薄膜样品的工艺技术,并且针对本课题的研究内容详述了实验室制薄膜的步骤,制作出不同掺锡浓度的薄膜。由于采用提拉法双面镀膜,造成膜层厚度有限,故采取多次提拉增加厚度...
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