§4.2.1 基于相关的配准方法.......................................................................26
§4.2.2 基于点匹配的配准...........................................................................26
§4.2.3 基于弹性模型匹配的配准...............................................................27
§4.2.4 傅立叶变换法...................................................................................27
第五章 基于 Hough 变换检测直线法的图像配准............................................... 30
§5.1 图像预处理...............................................................................................30
§5.1.1 图像二值化.......................................................................................30
§5.1.2 一种改进的边缘检测算子-水平垂直边缘检测算法.....................34
§5.2Hough 变换检测直线法.............................................................................36
§5.2.1 哈夫(Hough)变换原理.................................................................37
§5.2.2 晶圆图像的直线几何特征提取.......................................................38
§5.2.3 配准参数求取中优化方法的选择...................................................39
§5.2.4 图像重采样和变换...........................................................................48
§5.3 仿真结果分析及配准效果评价...............................................................49
第六章 晶圆图像融合算法的研究与实现........................................................... 52
§6.1 图像融合必要性分析...............................................................................52
§6.2 图像融合分类...........................................................................................52
§6.2.1 像素级图像融合...............................................................................52
§6.2.2 特征级图像融合...............................................................................53
§6.2.3 决策级图像融合...............................................................................54
§6.2.4 三种图像融合层次的性能比较.......................................................55
§6.3 图像融合算法...........................................................................................55
§6.3.1 取平均值方法...................................................................................56
§6.3.2 渐入渐出法.......................................................................................56
§6.4 仿真结果...................................................................................................58
§6.5 图像融合评价标准...................................................................................59
§6.5.1 主观评价标准...................................................................................59
§6.5.2 客观评价标准...................................................................................60
第七章 总结与展望............................................................................................... 63
参考文献..................................................................................................................64
在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果......................................66
致谢..........................................................................................................................67