晶圆缺陷检测中的图像拼接技术研究

摘要图像拼接技术不仅可以将采集到的几幅小范围的原始图像重新生成一幅完整图像,而且可以对原始图像由于成像畸变而产生的误差进行校正,最终达到快速、准确拼接图像的目的。本项目对晶圆缺陷检测系统中的图像拼接技术进行了研究。该研究针对晶圆缺陷检测系统在一定分辨率下,CCD摄像机一次拍摄到的视场范围较小,不能一次性获得整个晶圆图像从而影响后续缺陷特征提取的问题,提出了在系统中添加图像拼接技术。首先,介绍了图像采集系统设计。针对晶圆表面的固有特性,分析了用数字图像处理技术检测晶圆缺陷的难点。在对晶圆表面强反射特性对CCD成像的影响进行分析后,提出了斜拍策略,实现了晶圆图像的快速、准确拍摄。其次,结合图像拼接...
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