精密平面度在机测量技术研究

摘要随着现代技术发展,特别是尖端技术的发展,要求平面加工精度不断提高,这就需要更高精度的平面度误差测量技术,使测量技术面临新的挑战。论文在对平面度误差测量和评定的常见方法进行了大量的分析和研究后,针对K9光学玻璃的平面磨削问题,设计了一套平面度误差的在机测量系统,研究一种实用的精密平面度测量方法,并且对所研究方法和系统进行了相关的实验和数据分析。论文的主要研究内容分为以下几部分:1.分析了最小二乘法、遗传算法和最小区域法,研究一种将三种方法相结合的平面度误差评定新算法。该算法解决了初始参数寻优范围大,影响计算效率的问题,是一种兼顾计算速度与精确性的平面度误差评定方法。2.在对最大熵方法和任意概...
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