基于LabVIEW的富Hg液相外延生长炉分布式控制系统设计

摘要西方国家采用碲镉汞红外焦平面技术的侦查、预警和制导系统在航天和常规武器系统中已进入实用化,在技术上遥遥领先于我国目前使用的各类红外探测系统。为了获得集超大规模、多色探测和智能化处理技术于一身的新一代红外焦平面探测技术,迫切需要具有高可靠性的自动化控制装置,来实现大面积材料富Hg热处理技术。本课题在了解了富Hg液相外延生长工艺的基础上,结合了计算机监控和数据采集技术、分布式控制技术和可编程控制器的现场控制技术,设计并开发了一套富Hg液相外延生长炉的控制系统。该系统具有实时监控、数据分析处理、网络化控制管理以及安全保护功能。系统主要分为硬件、软件和分布式结构三个组成部分,本文详尽深入地阐述了这...
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