高精度自准直仪的研究

摘要自准直仪是利用光学自准直原理,将角度测量转换为线性测量的一种测量仪器。基于测量的高精度特性,常用于测量导轨的直线度、平板的平面度等,也可借助于转向棱镜附件测量垂直度等。光电自准直仪多应用于航空航天、船舶、军工等要求精密度极高的行业,例如机械加工工业的质量保证(平直度、平面度、垂直度、平行度等)、计量检定行业中角度测试标准、棱镜角度定位及监控、光学元件的测试及安装精度控制等等。特别是在精密、超精密定位方面,更有不可替代的作用。随着科技的发展,对测量精度和动态响频要求逐步提高,国内大部分的自准直仪性能已不能满足要求,本论文对基于面阵CCD探测传感器的自准直仪主要进行以下几部分工作:一是应用ZE...
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