三自由度精密定位工作台的设计与研究

摘要进入二十一世纪,为了满足现代航天、微型机器人、微电子系统等高科技产业发展的需要,对现代加工制造业提出了更高的要求,对加工精度和加工质量的要求不断提高。精密加工技术已成为世界各国重点研究的领域,而具有高精度定位和多自由度运动的微位移系统是实现精密加工和异形曲面加工的关键。本文结合工程实际应用,以多自由度精密定位工作台为研究对象,该对象可作为精密磨床和车床上的微进给器,其研究具有重要的理论价值和实用意义。微位移工作台利用压电陶瓷的逆压电效应,具有比其它微位移装置更多的优点,如体积小、位移分辨率高、位移重复性好、响应速度快、输出力大、可结合正压电效应实现自感知压电控制,是具有广阔应用前景的微位移...
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