双频干涉仪中偏振分光镜的研究

摘要激光干涉仪已成为精密测量中广泛应用的工具,国内外许多公司都有商品化仪器出售。但是,随着科学技术的不断进步,人们对测量工具提出了更高的要求。为适应新的测量要求,双频干涉仪也必须向高精度方向发展。然而,当测量要求提升到纳米精度和纳米溯源的高度时,双频干涉仪中混频现象引起的非线性误差受到了高度重视。因为其限制了干涉仪有效分辨率的提高,造成的影响十分严重。因此,为了提高干涉仪的测量精度,真正实现纳米溯源测量,研究和解决非线性误差的问题就成为当前的重要研究课题之一。本课题是国家自然科学基金项目“纳米干涉测长中的非线性问题研究”的一个重要组成部分。其目的是研究双频干涉仪中偏振分光镜所引起的混频现象,并...
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