双频激光干涉仪相位测量的设计与研究

I摘要作为纳米测量技术的一种,激光干涉仪量程大、灵敏度高以及测量精度高等特点,广泛应用于精密及超精密测量领域。随着科技的发展,激光干涉仪与计算机相结合,同时应用光电转换器件,不仅可以测量位移、速度及角度,还可以对仪器进行监控、测试、检测、标定等。随着纳米科学技术应用研究的飞速发展,对纳米测量技术提出了更高的测量要求,这就要求纳米测量技术向着大量程、高分辨率、多功能、动态、自动化等方向发展。在双频激光外差干涉仪测量系统中,外差干涉信号的处理和光路的调整是影响测量精度的关键部分。而外差信号的处理是激光干涉测量系统的最后一步,关键一环一直备受关注。信号处理主要分为相位解调和频率解调。本课题结合相位解...
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