亚波长光栅衍射效率的耦合波算法分析及制备研究

摘要本论文根据亚波长光栅的严格耦合波理论(RCWA),对于亚波长光栅的衍射情况进行了完善的理论推导,尤其对于矩形槽亚波长光栅的衍射效率进行了详细的推导,并编写相应的MATLAB程序进行计算机模拟计算光栅的衍射效率。通过大量的理论计算和对计算机模拟结果的分析,得到光栅的衍射效率不仅与光栅的入射角、偏振角、方位角有关,而且还与光栅的材料、光栅结构(周期、槽深、占空比)有关。本论文分别分析了光栅的各种参数对衍射效率的影响,以及入射光波状态对于光栅衍射效率的影响。通过对影响较大的几个参数进行分析和运用计算机模拟计算,得到了亚波长光栅的零级衍射效率随各主要参数变化时发生相应变化的规律,从而对于满足不同需...
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